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光氧催化利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物。
光氧催化利用氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对有机物具有较强的氧化作用。工业废气输入到净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束和臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
光氧催化利用细菌的分子键，破坏细菌的核酸，再通过臭氧进行氧化反应，达到净化杀灭细菌的目的。采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对有害气体进行，使有机物转变为无机物。
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技术特点：
（1）低温深度反应：光催化氧化可在常温将空气、水和土壤中有机污染物完全氧化成无害的物质。而传统的高温焚烧技术则需要在极高的温度下才可将污染物摧毁，即使用常规的催化氧化方法亦需要几的高温。
（2）净化彻底：它钟将空气中的有机污染物，完全氧化成无害的物质，不留任何无二次污染，目前广泛采用活性炭吸附法不分解污染物，只是将污染源转移。
（3）绿色能源：光催化可利用太阳光作为能源来活化光催化剂，驱动氧化一还原反应，而且光催化剂在反应过程中并不消耗。从能源角度而言，这一特征使光催化技术更具魅力。
（4）氧化性强：大量研究表明，半导体光催化具有氧化性强的特点，对臭氧难以氧化的某些有机物如三**、四化碳、六、都能有效地加以分解，所以难以降解的有机物具有特别意义，光催化的有效氧化剂是自由（OH），OH的氧化性高于常见的臭氧、双氧水、、次酸等。
（5）广谱性：光催化对从烃到羧酸的种类众多有机物有效，没过环保署公布的九大类14中污染物均被证实可通过光催化得到治理，即使对原子有机物如卤代烃、染料、含氮有机物、有机磷杀虫剂也有**的去除效果，一般经过持续反应可达到完全净化。
（6）寿命长：理论上，催化剂的寿命是无限长。
