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SF6气体抽真空充气装置一般的净化干燥随回收贮存和充放过程 同步完成，自循环净化方法如下：贮液罐内SF6自循环时，开冷冻压缩机、V5、V2、SF6压缩机、V3。若SF6压缩机排气压力太高可调节V2阀门开启大小，以便气体正常循环。自循环结束时，关V5、V2、SF6压缩机、V3、冷冻压缩机等。六、维修和保养回收装置及其环境应经常保持清洁，对各主要设备应经常检查，按期维修和保养，请注意不能随意松动任何接头、螺栓、螺母，应有专门人员进行操作、维修。6.1、真空泵6.1.1使用中注意事项经常注意油位。泵起动后再打开阀门。经常注意泵运转是否正常，有无特殊声响，电机是否超负荷运转。注意泵温升不超过40℃。严禁用煤油、汽油、酒精等对泵作非拆卸的清洗。若泵长期搁置不用，应将油放尽，然后注入新油。6.1.2换油期新泵跑合运转后，可能有少量金属碎屑和其他杂质在油箱中沉积起来，对泵的性能不会有影响，但以除去为宜，在使用100小时后，把油放出，把含有杂质的少部分油除去，其余的清洁油仍可用滤网过滤后加入泵内，酌量补充一点新油，以后的换油期，需油用户根据使用情况和效果酌情决定。原则为一年更换一次（约2000小时）。6.1.3换油方法先开泵运转约半小时，待油变稀，停泵从放油孔放油。再敞开进气口运转10~20秒，此间可以吸气口缓缓加入少量新油。以更换泵腔内的存油，如出来的油很脏，后者可重复进行，不可用清洗液冲洗泵内存油和杂质。6.2、SF6压缩机6.2.1使用注意事项因启动过频会影响电机寿命，所以每小时启动次数应尽量少于5次，每次停机时间应在3分钟以上。尽量避免压缩机较长时间真空运转，故回收时要注意观察压缩机进气口压力，当回收初压力(M1)显示为零表压，达到预定值，及时停止压缩机回收。
